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266nm連續(xù)深紫外激光器

266nm連續(xù)深紫外激光器

時間:2025-07-22 類別:單頻激光器 關(guān)注:116

高光束質(zhì)量,低功耗,用于半導(dǎo)體檢查等

266nm連續(xù)激光器是日本Oxide公司在激光器領(lǐng)域的產(chǎn)品里的主打系列,它的特點是具有世界最寬的輸出功率范圍20mW-2W,分為三種型號:Frequad-HP,F(xiàn)requad-M,F(xiàn)requad-C。266nm連續(xù)激光器可以說是該公司二十多年來激光器發(fā)展水平的體現(xiàn),其采用純度超高的BBO晶體,產(chǎn)生的激光具有高光束質(zhì)量(M2<1.2)和高穩(wěn)定性(1W下可連續(xù)工作3000小時),適合客戶用于拉曼光譜,半導(dǎo)體檢測等紫外光應(yīng)用。

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266nm連續(xù)激光器是日本Oxide公司在激光器領(lǐng)域的產(chǎn)品里的主打系列,它的特點是具有世界最寬的輸出功率范圍20mW-2W,分為三種型號:Frequad-HP,F(xiàn)requad-M,F(xiàn)requad-C。266nm連續(xù)激光器可以說是該公司二十多年來激光器發(fā)展水平的體現(xiàn),其采用純度超高的BBO晶體,產(chǎn)生的激光具有高光束質(zhì)量(M2<1.2)和高穩(wěn)定性(1W下可連續(xù)工作3000小時),適合客戶用于拉曼光譜,半導(dǎo)體檢測等紫外光應(yīng)用。

主要特點

  • 使用超高純度BBO晶體:OXIDE專有BBO晶體的卓越品質(zhì)使該系統(tǒng)作為一個設(shè)備在0.3-1W的輸出功率下運行了3000多個小時。由于晶體退化最小,高光束質(zhì)量保證了長時間的穩(wěn)定運行。

  • 應(yīng)用精密的伺服鎖定技術(shù): 獨特的高速、高精度音圈電機(VCM)伺服執(zhí)行器驅(qū)動激光器穩(wěn)定的CW運行。

  • 功耗極低: 高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)低于340W的極低功耗操作。

典型應(yīng)用

  • 拉曼光譜

  • 半導(dǎo)體檢測

  • 光致發(fā)光

  • 光纖布拉格光

  • 磁盤控制

技術(shù)參數(shù)

系列Frequad-HPFrequad-MFrequad-C
型號FQ50-20/-10FQM-20/-10/-07/-05/-03FQC-50/-20
圖片OXIDE連續(xù)深紫外單頻激光器OXIDE連續(xù)深紫外單頻激光器OXIDE連續(xù)深紫外單頻激光器
波長266nm266nm266nm
輸出功率2.0 / 1.0W2.0 / 1.0 / 0.7 / 0.5 / 0.3W50 / 20mW
線寬<0.005pm<0.005pm<0.005pm
功率穩(wěn)定性< +/-1 %/8 hrs< +/-1 %/8 hrs< +/-3 %/8 hrs
消光比>100:1>100:1>100:1
光束質(zhì)量TEM00,    M2 < 1.2TEM00,    M2 < 1.2TEM00,    M2 < 1.3
偏振垂直、線性垂直、線性垂直、線性
光束直徑3mm ±    0.3mm3mm ±    0.3mm0.8mm ±    0.2mm
光束發(fā)散角(1/e2)<0.2mrad<0.2mrad<0.4mrad
工作電源AC100-240V,    50/60HzAC100-240V,    50/60HzAC100-240V,    50/60Hz
功耗<300W<340W    (<400W for 2W model)<70W
冷卻風(fēng)冷水冷風(fēng)冷
尺寸240 x 840    x 160mm350 x 590    x 124mm153 x 202    x 79mm
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