
257.5nm連續(xù)激光器(Frequad-M57)是連續(xù)(CW)單頻深紫外激光器,是OXIDE波長轉(zhuǎn)換技術(shù)和非線性晶體技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。傳承日本OXIDE品牌深厚的技術(shù)底蘊(yùn)與嚴(yán)格的制作工藝,能夠保證產(chǎn)品的優(yōu)異性能以及優(yōu)秀品質(zhì)。其輸出功率覆蓋區(qū)間0.3w-1w,可適配多種激光能量需求;光束質(zhì)量良好,光束質(zhì)量因子 M2<1.2,能量高度匯聚。
我們一站式供應(yīng)各種類型的深紫外單頻激光器,單頻激光器,OXIDE,深紫外激光器,單縱模DUV激光器,可提供選型、技術(shù)指導(dǎo)、安裝培訓(xùn)、個(gè)性定制等全生命周期、全流程服務(wù),歡迎聯(lián)系我們!
257.5nm連續(xù)激光器(Frequad-M57)是連續(xù)(CW)單頻深紫外激光器,是OXIDE波長轉(zhuǎn)換技術(shù)和非線性晶體技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物。傳承日本OXIDE品牌深厚的技術(shù)底蘊(yùn)與嚴(yán)格的制作工藝,能夠保證產(chǎn)品的優(yōu)異性能以及優(yōu)秀品質(zhì)。其輸出功率覆蓋區(qū)間0.3w-1w,可適配多種激光能量需求;光束質(zhì)量良好,光束質(zhì)量因子 M2<1.2,能量高度匯聚,光斑均勻精準(zhǔn),可應(yīng)用于精細(xì)加工、科學(xué)研究等范疇。運(yùn)行時(shí),因?yàn)閮?yōu)異的性能,需要為其配置水冷裝置,確保設(shè)備在各種工作環(huán)境下仍可以保證穩(wěn)定輸出。由于其波長與氣體激光器氬離子激光器的二次諧波(SHG)相同,專為現(xiàn)有氣體激光器用戶或該波長的新用戶設(shè)計(jì),不易操作和維護(hù)。它不僅穩(wěn)定,而且高度可靠。因此,當(dāng)應(yīng)用于光刻設(shè)備、檢測工具和現(xiàn)場流量計(jì)時(shí),它可以做到降低維護(hù)頻率和運(yùn)行成本。它基于Frequad系列(Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C)成功的基礎(chǔ)上,應(yīng)用了OXIDE的全部核心技術(shù)。作為具有266nm深紫外(DUV)波長的連續(xù)(CW)單頻波長轉(zhuǎn)換激光器已有20多年的歷史.

主要特點(diǎn)
使用超高純度BBO晶體:OXIDE專有BBO晶體的卓越品質(zhì)使該系統(tǒng)作為一個(gè)設(shè)備在0.3-1W的輸出功率下運(yùn)行了3000多個(gè)小時(shí)。由于晶體退化最小,高光束質(zhì)量保證了長時(shí)間的穩(wěn)定運(yùn)行。
應(yīng)用精密的伺服鎖定技術(shù): 獨(dú)特的高速、高精度音圈電機(jī)(VCM)伺服執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)激光器穩(wěn)定的CW運(yùn)行。
功耗極低: 高效的波長轉(zhuǎn)換激光系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)低于340W的極低功耗操作。
典型應(yīng)用
半導(dǎo)體檢測和光刻設(shè)備
拉曼光譜、光電子能譜
光致發(fā)光
磁盤主控
光纖布拉格光柵制造
生物技術(shù)
技術(shù)參數(shù)
| 波長 | 257.5nm |
| 輸出功率 | 1.0, 0.7, 0.5, 0.3W |
| 線寬 | <0.005pm |
| 消光比 | >100:1 |
| 光束質(zhì)量 | TEM00, M2 < 1.3 |
| 偏振 | 垂直、線性 |
| 電源 | AC100-240V, 50/60Hz |
| 電耗 | <340W |
| 冷卻 | 水冷 |
| 尺寸 | 350 x 590 x 124mm |
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