LBO晶體（三硼酸鋰，LiB3O5）在DUV（深紫外）光刻機(jī)中扮演著核心波長轉(zhuǎn)換器的角色，其核心作用是通過非線性光學(xué)效應(yīng)將長波長激光高效轉(zhuǎn)換為光刻所需的深紫外光（如193nm）以下是具體作用解析。

實(shí)際應(yīng)用場景（以中科院技術(shù)為例）

核心功能：深紫外激光生成

1.輸入光源：

通常為紅外激光（如1030nm、1064nm）

2.轉(zhuǎn)換過程：  

第一步：紅外光通過LBO晶體進(jìn)行倍頻（如1064nm → 532nm綠光） 

第二步：532nm綠光與剩余紅外光在LBO中進(jìn)行和頻混頻（如532nm + 1064nm → 355nm紫外光）

第三步（關(guān)鍵）：多級LBO晶體串聯(lián)，將紫外光進(jìn)一步轉(zhuǎn)換為193nm深紫外光（如258nm + 1553nm → 193nm）

技術(shù)優(yōu)勢

1.LBO的寬透光范圍（160–2600nm）和高損傷閾值，使其能承受高功率激光并穩(wěn)定輸出深紫外光。

2.替代傳統(tǒng)光源

傳統(tǒng)方案：DUV光刻依賴ArF準(zhǔn)分子激光器（氣體放電產(chǎn)生193nm光），需復(fù)雜的氣體供應(yīng)系統(tǒng) 

LBO方案：全固態(tài)激光路徑（如中科院技術(shù)），通過LBO晶體直接生成193nm激光，簡化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，降低維護(hù)成本

關(guān)鍵性能優(yōu)勢

對比其他晶體：  

BBO晶體：雖非線性系數(shù)更高，但損傷閾值低（易燒蝕），不適用于高功率DUV系統(tǒng)。  

KDP晶體：透光范圍受限（>200nm），無法生成193nm光。

實(shí)際應(yīng)用場景（以中科院技術(shù)為例）

全固態(tài)193nm激光器：  

輸入1030nm紅外激光（Yb:YAG放大器產(chǎn)生）  

轉(zhuǎn)換路徑：

輸出性能：

平均功率70mW，線寬<0.11pm（滿足3nm制程需求）

混合光源輔助系統(tǒng)：

作為準(zhǔn)分子激光器的種子光源，提升輸出激光的相干性和穩(wěn)定性

技術(shù)局限與突破方向

當(dāng)前瓶頸

• 功率不足（70mW VS 商用準(zhǔn)分子激光100W）

• 重復(fù)頻率較低（6kHz VS 9kHz）

優(yōu)化路徑

• 多級LBO串聯(lián)結(jié)構(gòu)增強(qiáng)轉(zhuǎn)換效率

• 開發(fā)新型鍍膜技術(shù)減少界面損耗

• 耦合光纖放大器提升輸入激光功率

LBO的核心價值

國產(chǎn)替代關(guān)鍵

突破準(zhǔn)分子激光器的氣體技術(shù)壟斷，降低供應(yīng)鏈風(fēng)險(xiǎn)  

技術(shù)獨(dú)特性

唯一能高效生成193nm深紫外光的全固態(tài)方案核心材料 

未來潛力

若突破功率瓶頸，可推動DUV光刻機(jī)向更緊湊、低能耗方向演進(jìn)  

本質(zhì)作用

LBO是DUV光刻機(jī)的“光學(xué)齒輪”，將易得的紅外激光“精密加工”為光刻所需的深紫外光，為高分辨率芯片制造提供底層光源支撐

本文內(nèi)容轉(zhuǎn)載自，公眾號“悅能光電”《LBO晶體在DUV光刻機(jī)中的作用》，版權(quán)歸原作者所有，僅用于學(xué)習(xí)、交流用途。如涉及版權(quán)問題或侵權(quán)內(nèi)容，請及時聯(lián)系我們（手機(jī)|微信：13697356016），我們將第一時間處理或刪除。