
Sill S6EZM0940-574 是業(yè)界領(lǐng)先的 355nm紫外電動(dòng)擴(kuò)束鏡,支持 0.9-4倍 連續(xù)變倍。采用 熔融石英鏡片 與低吸收涂層,耐受 0.3 J/cm2 超快激光(1ps脈沖)。雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)鏡片實(shí)現(xiàn) <1秒極速調(diào)節(jié),運(yùn)動(dòng)中指向穩(wěn)定性 <0.2 mrad,定位精度 ±30 μm。緊湊設(shè)計(jì)(53×53×185 mm)集成絕對(duì)編碼器與智能控制器,通過(guò) USB/RS232 指令控制。適用于紫外精密微加工、光伏激光刻蝕及半導(dǎo)體晶圓處理,為自動(dòng)化產(chǎn)線提供動(dòng)態(tài)光束控制解決方案。
我們一站式供應(yīng)各種類型的擴(kuò)束鏡,激光擴(kuò)束鏡,變倍擴(kuò)束鏡,可調(diào)擴(kuò)束鏡,電動(dòng)擴(kuò)束鏡,可提供選型、技術(shù)指導(dǎo)、安裝培訓(xùn)、個(gè)性定制等全生命周期、全流程服務(wù),歡迎聯(lián)系我們!

這款新型電動(dòng)擴(kuò)束鏡 S6EZM0940-574 具有與手動(dòng)可調(diào)的 S6EXZ0940-574 相同的光學(xué)設(shè)計(jì)。通過(guò)使用最高質(zhì)量的涂層和石英玻璃,Sill Optics 確保這種新型擴(kuò)束鏡在與現(xiàn)代高功率激光器一起使用時(shí)具有特別高的耐用性。光束直徑不低于物鏡任何內(nèi)透鏡表面上的最小值。因此,即使在通常至關(guān)重要的第二透鏡上,即使使用高功率激光器,能量輸入也非常低,從而避免了對(duì)材料和涂層的損壞。
雖然變焦擴(kuò)束鏡因放大倍數(shù)范圍可調(diào)而獲得好評(píng),但固定放大倍數(shù)的擴(kuò)束鏡往往因其適用于極短脈沖高功率激光器而備受關(guān)注。新型電動(dòng)高功率擴(kuò)束鏡 S6EZM0940-574 與其手動(dòng)可調(diào)擴(kuò)束鏡一樣,兼具兩種優(yōu)點(diǎn)。
與 S6EXZ0940-574 不同,S6EZM0940-574 的鏡頭是電動(dòng)的。這樣就可以在 0.9x – 4x 范圍內(nèi)高精度且全自動(dòng)地調(diào)整放大倍數(shù)和發(fā)散度。由于在放大和發(fā)散調(diào)整過(guò)程中不接觸任何組件,并且透鏡的定位精度高達(dá) 30 μm,因此可以實(shí)現(xiàn) ≤0.2 mrad 的指向誤差。
我們?cè)跀U(kuò)束鏡領(lǐng)域的產(chǎn)品范圍很廣,包括許多不同的型號(hào)。范圍從具有固定放大倍數(shù)的緊湊型或自然陽(yáng)極氧化光束擴(kuò)展器到手動(dòng)、部分電動(dòng)或全電動(dòng)變焦光束擴(kuò)展器。如果您需要特定的放大倍數(shù)或有我們的產(chǎn)品組合鏡頭無(wú)法滿足的其他特殊要求,我們很樂(lè)意根據(jù)您的需求調(diào)整現(xiàn)有產(chǎn)品或開(kāi)發(fā)定制的新設(shè)計(jì)。請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系我們并體驗(yàn)我們高品質(zhì)擴(kuò)束鏡的性能。
| 型號(hào) | S6EZM0940-574 |
| 擴(kuò)束倍率 | 0.9-4x 連續(xù)可調(diào)(電動(dòng)控制) |
| 設(shè)計(jì)波長(zhǎng) | 355 nm (紫外波段) |
| 通光孔徑(輸入/輸出) | ?12 mm / ?28 mm |
| 光學(xué)元件 | 4片 (2片電動(dòng)可動(dòng)) / 熔融石英 |
| 損傷閾值 (涂層) | 0.3 J/cm2 (1ps脈沖, 100Hz) |
| 調(diào)節(jié)時(shí)間 (倍率+發(fā)散度) | <1秒 |
| 透鏡定位精度 | ±30 μm |
| 動(dòng)態(tài)指向穩(wěn)定性 | <0.2 mrad |
| 控制接口 | USB/RS232 |
| 供電 | DC 12V |
| 機(jī)械尺寸 | 53×53×185 mm (陽(yáng)極氧化鋁外殼) |
| 安裝方式 | 底部 M4 螺紋孔 |
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