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激光設(shè)備配件激光器配件工業(yè)自動(dòng)化
激光掃描振鏡 SUPERSCAN IV

激光掃描振鏡 SUPERSCAN IV

時(shí)間:2025-08-28 類別:激光設(shè)備配件 關(guān)注:192

多孔徑高功率激光掃描解決方案,支持XY2-100/SL2-100協(xié)議,水冷設(shè)計(jì),最高6kW功率

SUPERSCAN IV系列是高端工業(yè)級(jí)兩軸激光掃描振鏡系統(tǒng),包含10mm、15mm、20mm和30mm多種輸入孔徑型號(hào),以及專為太陽(yáng)能電池加工的SOLAR版本。全系列采用數(shù)字PWM控制技術(shù),兼容XY2-100和SL2-100協(xié)議,提供200 rad/s的高速掃描和±15μm的高精度表現(xiàn)。配備水冷和空氣冷卻選項(xiàng),可支持2kW至6kW高功率激光應(yīng)用,具有優(yōu)異的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。廣泛應(yīng)用于激光打標(biāo)、切割、焊接、微加工、太陽(yáng)能電池加工、增材制造和遠(yuǎn)程焊接等領(lǐng)域,滿足各種精密工業(yè)加工需求。

我們一站式供應(yīng)各種類型的激光掃描振鏡,激光打標(biāo)頭,打標(biāo)掃描頭,激光振鏡掃描頭,打標(biāo)機(jī)用掃描頭,振鏡打標(biāo)頭,激光打標(biāo)鏡頭,可提供選型、技術(shù)指導(dǎo)、安裝培訓(xùn)、個(gè)性定制等全生命周期、全流程服務(wù),歡迎聯(lián)系我們!

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SUPERSCAN IV-10

    兩軸激光掃描振鏡

動(dòng)態(tài)、快速和穩(wěn)定

  • 通過(guò)20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級(jí)大幅降低了功耗和熱能產(chǎn)生

  • 快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高速度促進(jìn)生產(chǎn)效率

  • 多種調(diào)試模式和鏡片鍍膜,適用于各種應(yīng)用

  • 輸入孔徑: 10 mm

優(yōu)勢(shì)

SUPERSCAN IV-10模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極強(qiáng)的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和速度,在打標(biāo)以及非??焖俚蔷珳?zhǔn)的成型、切割和鉆孔等應(yīng)用中真正發(fā)揮作用。堅(jiān)固耐用的水冷外殼設(shè)計(jì)保證了即使在頻繁改變光束方向和高跳轉(zhuǎn)的情況下,也能保持穩(wěn)定、低漂移的運(yùn)行。

可配置選項(xiàng)

透鏡、保護(hù)窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長(zhǎng)、功率密度、焦距和工作幅面。這些多軸加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們也樂(lè)于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。

典型應(yīng)用

SUPERSCAN IV-10的應(yīng)用范圍包括打碼、FPC結(jié)構(gòu)切割以及銅箔的切割鉆孔。由于采用了數(shù)字控制和強(qiáng)大的PWM輸出級(jí),速度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)得到了保證。當(dāng)與我們的相機(jī)適配器和MVC組件相結(jié)合時(shí),SUPERSCAN IV-10就成為了理想的過(guò)程精密監(jiān)控工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準(zhǔn)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測(cè)試的。通過(guò)我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)榭蛻籼峁┝己玫木S護(hù)與快速支持服務(wù)。

通用規(guī)格

電壓30 V 或 48 V
電流2 A RMS, 最大 5 A
紋波/噪音最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬
接口信號(hào)數(shù)字XY2-100-增強(qiáng)協(xié)議, SL2-100協(xié)議
環(huán)境溫度+15°C 至 +35°C
存儲(chǔ)溫度-10°C 至 +60°C
濕度≤ 80 % 無(wú)結(jié)露
外殼防護(hù)等級(jí)64
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復(fù)定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
位置噪聲 (RMS)< 4.5 μrad
最大增益漂移115 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時(shí)長(zhǎng)期漂移,無(wú)水冷< 60 μrad
8小時(shí)長(zhǎng)期漂移,有水冷< 40 μrad

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來(lái)水
溫度22°C – 28°C
最大水壓< 3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

機(jī)械參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV
輸入孔徑 [mm]10
光束位移 [mm]12.5 (SI)
重量 (無(wú)透鏡) [kg]約 3.2
尺寸 (L x W x H) [mm]170.0 x 125.0 x 117.5

反射鏡類型

波長(zhǎng)材質(zhì)
355 nmSI
532 nmSI
1,064 nmSI

 動(dòng)態(tài)參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-10-SI
調(diào)校模式VCM
加工速度 [rad/s]50 @ 30 V
80 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
定位速度 [rad/s]50 @ 30 V
80 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.120.10
1%全行程階躍響應(yīng)時(shí)間 [ms]0.330.41

調(diào)校

調(diào)校模式描述
向量調(diào)校 (VC)針對(duì)常見應(yīng)用進(jìn)行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度
微加工調(diào)校 (M)針對(duì)具有銳利拐角和最小追跡誤差的高精度光束偏轉(zhuǎn)進(jìn)行的優(yōu)化調(diào)校

詳情資料:SUPERSCAN-IV-10

SUPERSCAN IV-15

    兩軸激光掃描振鏡

動(dòng)態(tài)性能佳,速度快,多功能

  • 通過(guò)20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級(jí),極大的降低了功耗和熱量

  • 快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高速度促進(jìn)生產(chǎn)效率

  • 針對(duì)不同應(yīng)用,提供相應(yīng)的調(diào)校方式,鏡片材質(zhì)和鍍膜涂層

  • 輸入孔徑: 15 mm

優(yōu)勢(shì)

SUPERSCAN IV-15 的模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極高的動(dòng)態(tài)性能和高達(dá)75rad/s的速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應(yīng)用的要求。堅(jiān)固的水冷外殼設(shè)計(jì),搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達(dá)2 kW。

可選配置<<>

透鏡、保護(hù)窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長(zhǎng)、功率密度、焦距和工作幅面。這些多種加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂(lè)于為您提供適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂(lè)于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。

典型應(yīng)用

SUPERSCAN IV-15 特別適合晶圓工成型,增材制造中的填沖應(yīng)用,擺動(dòng)焊接以及電子元件的標(biāo)刻。數(shù)字控制和強(qiáng)大的PWM輸出級(jí)技術(shù)保證了振鏡的速度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)。配合我們的相機(jī)適配器和機(jī)器視覺組件,SUPERSCAN IV-15也是精確加工監(jiān)控的理想工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測(cè)試的。通過(guò)我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)榭蛻籼峁┳詈玫木S護(hù)與快速支持服務(wù)。

通用規(guī)格

電壓30V或48V
電流2A RMS,最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15℃至+35℃
儲(chǔ)存溫度-10℃至+60℃
濕度≤80%無(wú)結(jié)霜
外殼防護(hù)等級(jí)64
接口信號(hào)數(shù)字XY2-100-增強(qiáng)協(xié)議, SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復(fù)定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
位置噪聲 (RMS)< 4.5 μrad
最大增益漂移115 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時(shí)長(zhǎng)期漂移,無(wú)水冷< 60 μrad
8小時(shí)長(zhǎng)期漂移,有水冷< 40 μrad

反射鏡類型

波長(zhǎng)材質(zhì)
355 nmQU
532 nmQU, SI
1,030 nmSC
1,064 nmQU, SI, SC
1,060 nm ~ 1,080 nm(高功率鍍膜)QU
10,600 nmSI, SC

機(jī)械參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV
輸入孔徑 [mm]15
光束位移         [mm]18.1 (QU, SI) / 18.0 (SC)
重量(含透鏡)[kg]約 3.2
尺寸 (L×W×H) [mm]170.0 × 125.0 × 117.5

調(diào)校模式

調(diào)校描述
快速進(jìn)給調(diào)校 (VC)適用于常見應(yīng)用,注重加工速度
清洗調(diào)校 (C)適用于長(zhǎng)焦高速掃描
填充調(diào)校 (H)適用于高精度填充和光束偏轉(zhuǎn)

動(dòng)態(tài)參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV-15-QUSUPERSCAN IV-15-SISUPERSCAN IV-15-SC
調(diào)校VCCVCVCH
加工速度 [rad/s]45 @ 30 V
50 @ 48 V
-
200 @ 48 V
50 @ 30 V
65 @ 48 V
55 @ 30 V
75 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
定位速度 [rad/s]45 @ 30 V
50 @ 48 V
-
200 @ 48 V
50 @ 30 V
65 @ 48 V
55 @ 30 V
75 @ 48 V
30 @ 30 V
30 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.190.300.160.140.123
1%全行程階躍響應(yīng)時(shí)間 [ms]0.490.650.430.370.47

詳情資料:SUPERSCAN-IV-15

SUPERSCAN IV-20

    兩軸激光掃描振鏡

數(shù)字控制,高動(dòng)態(tài)性能,多用途

  • 通過(guò)20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級(jí),極大的降低了功耗和熱量

  • 最大化生產(chǎn)效率的高動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高速度,特別適合增材制造

  • 針對(duì)不同應(yīng)用的多種反射鏡基材和鍍膜

  • 輸入孔徑: 20 mm

優(yōu)勢(shì)

SUPERSCAN IV-20的模組化數(shù)字控制技術(shù)提供了極高的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和速度,從而滿足極快速度極高精度掃描應(yīng)用的要求。堅(jiān)固的水冷外殼設(shè)計(jì),搭配石英反射鏡,能夠承受激光功率高達(dá)3 kW。

可配置選項(xiàng)

透鏡、保護(hù)窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長(zhǎng)、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應(yīng)用得以獲得優(yōu)質(zhì)質(zhì)量和加工效率。我們樂(lè)于為您提供最適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂(lè)于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。

典型應(yīng)用

SUPERSCAN IV-20振鏡不僅特別適合微焊接和振動(dòng)焊接,也適合電子元件的標(biāo)刻。數(shù)字控制和強(qiáng)大的PWM輸出級(jí)技術(shù)保證了振鏡的速度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)。配合我們的相機(jī)適配器和機(jī)器視覺組件,SUPERSCAN IV-20是精確加工監(jiān)控的理想工具,也是增材制造應(yīng)用的理想選擇。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)水準(zhǔn)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測(cè)試的。通過(guò)我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)榭蛻籼峁┳詈玫木S護(hù)與快速支持服務(wù)。

通用規(guī)格

電壓±30V 或 ±48V
電流2A RMS, 最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C至+35°C
存儲(chǔ)溫度-10 °C至+60 °C
濕度≤80 %無(wú)結(jié)霜
IP防護(hù)等級(jí)64
接口信號(hào)XY2-100-增強(qiáng)協(xié)議 SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 urad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 urad
重復(fù)定位精度 (RMS)≤2.0 urad
定位誤差 (RMS)≤3.2 urad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移10 urad/K
8小時(shí)長(zhǎng)周期穩(wěn)定性,無(wú)水冷≤60 urad
8小時(shí)長(zhǎng)周期穩(wěn)定性,有水冷≤40 urad

機(jī)械參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-20 QU / SI / SC
輸入孔徑 (mm)20
光束位移 (mm)26.0
重量(無(wú)透鏡) (kg)約5.5
尺寸(L x W x H) (mm)203.0 x 159.0 x 150.0 / 160.51

反射鏡類型

波長(zhǎng)材質(zhì)
355 nmQU
532 nmQU, SC
1,064 nmQU, SC
10,600 nmSi, SC

調(diào)校

調(diào)校描述
向量調(diào)校 (VC)針對(duì)常見應(yīng)用進(jìn)行優(yōu)化調(diào)校,注意高加工速度;其它調(diào)??蛇x

動(dòng)態(tài)參數(shù)

掃描振鏡SUPERSCAN IV-20 QUSUPERSCAN IV-20 SCSUPERSCAN IV-20 SI
調(diào)校VCVCVC
加工速度 (rad/s)45 @ 30 V
50 @ 48 V
50 @ 30 V
75 @ 48 V
45 @ 30 V
60 @ 48 V
定位速度 (rad/s)45 @ 30 V
50 @ 48 V
50 @ 30 V
75 @ 48 V
45 @ 30 V
60 @ 48 V
追跡誤差 (ms)0,280,200,25
1%全行程階躍響應(yīng)時(shí)間 (ms)0,700,500,62

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來(lái)水
溫度22°C ~ 28°C
最大水壓≤3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-20

SUPERSCAN IV SOLAR

    兩軸激光掃描振鏡

快速、準(zhǔn)確的太陽(yáng)能電池激光加工

  • 高達(dá)66 m/s的高速掃描,確保高產(chǎn)能每小時(shí)>3,600個(gè)晶圓片

  • 高精度<±15 μm確保高光電轉(zhuǎn)換效率

  • 配有優(yōu)化的高動(dòng)能反射鏡,確保最佳性能

  • 使用f = 330 mm透鏡

優(yōu)勢(shì)

SUPERSCAN IV SOLAR基于模型的數(shù)字控制提供了極高的速度,最高可達(dá)200 rad/s。這真正實(shí)現(xiàn)了特別快速和精準(zhǔn)的應(yīng)用。帶有覆蓋超波長(zhǎng)涂層的特殊鍍面基材即使在大的加工區(qū)域內(nèi),也能實(shí)現(xiàn)小的光斑直徑。

可選配置

透鏡,保護(hù)窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長(zhǎng)、功率密度、焦距和工作幅面。這些參數(shù)加工應(yīng)用得以獲得最優(yōu)化質(zhì)量和加工效率。我們樂(lè)于為您提供適合您的應(yīng)用的SUPERSCAN IV定制化配置。我們也樂(lè)于幫助您選擇適合您應(yīng)用的最優(yōu)化配置。

典型應(yīng)用

特別是,太陽(yáng)能行業(yè)的晶圓結(jié)構(gòu)是一個(gè)自然的應(yīng)用。由于采用了數(shù)字控制和強(qiáng)大的PWM輸出級(jí),速度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)得到了保證。當(dāng)結(jié)合我們的相機(jī)適配器和MVC組件,SUPERSCAN IV SOLAR成為理想的具有過(guò)程監(jiān)控的精密工具。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測(cè)試的。通過(guò)我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)榭蛻籼峁┳詈玫木S護(hù)與快速支持服務(wù)。

通用規(guī)格

電壓+48V
電壓2A RMS, 最大5A
紋波/噪音最大200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C至+35°C
儲(chǔ)存溫度-10°C至+60°C
濕度±80 %無(wú)結(jié)霜
外殼防護(hù)等級(jí)64
接口信號(hào)XY2-100-增強(qiáng)協(xié)議 SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 urad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 urad
重復(fù)定位精度 (RMS)≤2.0 urad
定位誤差 (RMS)≤4.5 urad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移10 urad/K
8小時(shí)長(zhǎng)周期穩(wěn)定性,無(wú)水冷≤60 urad
8小時(shí)長(zhǎng)周期穩(wěn)定性,有水冷≤40 urad

機(jī)械參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-15SUPERSCAN IV-20
輸入孔徑 [mm]1520
光束位移 [mm]18.1 (QU), 18.0 (SC)26.0 (QU, SC)
重量 [無(wú)透鏡] [kg]約3.2約5.5
尺寸 (L x W x H) [mm]170.0 x 125.0 x 117.5203.0 x 159.0 x 150.0

反射鏡類型

波長(zhǎng)材質(zhì) 15 mm材質(zhì) 20 mm
343 nmSCSC
355 nmQU, SCSC
515 nmSCSC
532 nmQU, SCSC
1,030 nm, 1,070 nmSCSC
1,064 nmQU, SCSC
1,060–1,080 nmQUSC

調(diào)校

調(diào)校描述
高線性精度調(diào)校 (PL)針對(duì)長(zhǎng)焦在高速打標(biāo)和超高精度光束偏轉(zhuǎn)時(shí)的優(yōu)化調(diào)校
晶圓調(diào)校 (W)針對(duì)長(zhǎng)焦在最高速度和高精度光束偏轉(zhuǎn)時(shí)的優(yōu)化調(diào)校

動(dòng)態(tài)參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-15 QUSUPERSCAN IV-15 SCSUPERSCAN IV-20 5C
調(diào)校WPLWW
加工速度 [rad/s]200110200160200
定位速度 [rad/s]200110200160200
追跡誤差 [ms]0.300.300.20400
1%全行程階躍響應(yīng)時(shí)間 [ms]0.650.800.501.00

水冷控制

規(guī)格冷卻水
溫度22°C ~ 28°C
最大水壓<3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-SOLAR

SUPERSCAN IV-30

    兩軸激光掃描振鏡

數(shù)字控制,高動(dòng)態(tài)性能,多用途

  • 通過(guò)20位SL2-100協(xié)議或16位XY2-100協(xié)議控制

  • 得益于數(shù)字PWM輸出級(jí),極大地降低了功耗和熱量

  • 快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)和高速度得以最大化生產(chǎn)效率,特別適合MOTF加工

  • 針對(duì)不同應(yīng)用的多種反射鏡基底和鍍膜

  • 輸入孔徑:Φ 30 mm

優(yōu)勢(shì)

SUPERSCAN IV振鏡提供了極快的動(dòng)態(tài)響應(yīng)和速度,與我們I模組配合特別適合MOTF應(yīng)用(飛行加工與標(biāo)刻)。堅(jiān)固的水冷外殼設(shè)計(jì),搭配可選配的空氣冷卻組件,使之能夠承受高達(dá)6kW的激光功率。

可選配置<<>

透鏡、保護(hù)窗以及反射鏡材質(zhì)和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長(zhǎng)、功率密度、焦距和工作幅面。電子控制系統(tǒng)也支持額外的控制參數(shù)設(shè)置(調(diào)校選項(xiàng))。我們樂(lè)于為您提供最適合您應(yīng)用的SUPERSCAN IV優(yōu)化配置。

典型應(yīng)用

SUPERSCAN IV是RAYLASE針對(duì)極高速度和快速動(dòng)態(tài)響應(yīng)要求的材料激光加工應(yīng)用推出的理想解決方案。SUPERSCAN IV特別適合劃線、鉆孔、包裝行業(yè)中的塑料和紙板切割以及電子元件標(biāo)刻。數(shù)字控制和強(qiáng)大的PWM輸出級(jí)技術(shù)保證了振鏡的速度和動(dòng)態(tài)響應(yīng)。結(jié)合我們的高功率相機(jī)適配器,安裝在機(jī)器人和光門系統(tǒng)上的SUPERSCAN IV搭配可選加工監(jiān)測(cè)組件,是理想的遠(yuǎn)程焊接解決方案。

創(chuàng)新與品質(zhì)

在RAYLASE,創(chuàng)新與保持產(chǎn)品的高品質(zhì)是我們的首要目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品是在自己的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)車間研發(fā)、制造和測(cè)試的。通過(guò)我們的全球支持網(wǎng)絡(luò),能夠?yàn)榭蛻籼峁┳詈玫木S護(hù)與快速支持服務(wù)。

通用規(guī)格

電壓30 V 或 48 V
電流2 A RMS, 最大 5 A
電流最大 200 mVpp, @20 MHz帶寬
環(huán)境溫度+15°C 至 +35°C
儲(chǔ)存溫度-10°C 至 +60°C
濕度≤ 80 % 無(wú)結(jié)露
外殼IP防護(hù)等級(jí)64
接口信號(hào)XY2-100 增強(qiáng)協(xié)議, SL2-100協(xié)議
典型偏轉(zhuǎn)角± 0.393 rad
分辨率 XY2-100-E 16-Bit12 μrad
分辨率 SL2-100 20-Bit0.76 μrad
重復(fù)定位精度 (RMS)< 2.0 μrad
定位噪聲 (RMS)< 3.2 μrad
最大增益漂移15 ppm/K
最大位置漂移110 μrad/K
8小時(shí)長(zhǎng)期穩(wěn)定性,無(wú)水冷< 60 μrad
8小時(shí)長(zhǎng)期穩(wěn)定性,有水冷< 40 μrad

機(jī)械參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-30
輸入孔徑 [mm]30
光束位移 [mm]36.0 (SI, SC), 35.4 (QU)
重量(無(wú)透鏡) [kg]約 5.5
不銹鋼外殼 [kg]約 12.0
尺寸 (L x W x H) [mm]203.0 x 159.0 x 150.0

反射鏡類型

波長(zhǎng)材質(zhì)
420 nm – 480 nmQU
900 nm – 1,100 nm + ALQU, SC
1,064 nmSI, SC, QU
1,020 nm – 1,040 nm (高功率鍍膜 > 3 kW)QU
1,060 nm – 1,080 nm (高功率鍍膜 > 3 kW)QU
10,600 nmSI, SC

調(diào)校

調(diào)校描述
快速向量調(diào)校 (VC)針對(duì)常見應(yīng)用進(jìn)行的優(yōu)化調(diào)校,注重加工速度
快速向量調(diào)校 (FV)結(jié)合高動(dòng)態(tài)性能和高速的優(yōu)化調(diào)校

動(dòng)態(tài)參數(shù)

型號(hào)SUPERSCAN IV-30-QUSUPERSCAN IV-30-SISUPERSCAN IV-30-SC
調(diào)校向量向量向量快速向量
加工速度 [rad/s]30 @ 30 V50 @ 48 V35 @ 30 V55 @ 48 V40 @ 30 V65 @ 48 V30 @ 30 V50 @ 48 V
定位速度 [rad/s]30 @ 30 V50 @ 48 V35 @ 30 V55 @ 48 V40 @ 30 V65 @ 48 V30 @ 30 V50 @ 48 V
追跡誤差 [ms]0.480.430.300.24
1%全行程階躍響應(yīng)時(shí)間1.21.00.80.65

空氣冷卻

壓縮空氣潔凈空氣,去水去油
流量50 – 100 l/min
壓降1.0 bar – 1.5 bar

水冷控制

冷卻水加添加劑的潔凈自來(lái)水
溫度22°C – 28°C
最大水壓< 3 bar
流量2 l/min、4 l/min、6 l/min
壓降0.4 bar、0.8 bar、1.2 bar

詳情資料:SUPERSCAN-IV-30

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